MKY-KDY-1型四探针电阻率测试仪是严格按照硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造,并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改进。
仪器特点如下:
1、配有双数字表:一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全过程中的电流变化,使操作更简便,测量更精确。
数字电压表量程:0—199.99mV 灵敏度:10μV 输入阻抗:1000ΜΩ
基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)
2、可测电阻率范围:10—4 —1.9×104Ω·cm。
可测方块电阻范围:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、流经硅片的测量电流由高度稳定(万分之五精度)的特制恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量精度<3%。
电流量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、仪器采用触点电阻更低(<5mΩ)、使用寿命更长的转换开头及继电器(>10万次),在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数,提高了测试仪的可靠性和使用寿命。
6、可加配电脑,使用软件进行数据采集,实现自动换向测量、平均百分变化率等内容。
7、可配KDDJ-2电动测试架,自动上下运行,使测量更方便快捷。